技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLESCVD管式爐由管式爐+真空系統+供氣系統組成,大溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。CVD管式爐產(chǎn)品特點(diǎn):1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司知識產(chǎn)權設計,提高操作便捷性。3、中真空系統具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子...
PECVD系統就是為了使傳統的化學(xué)氣象沉積反應溫度降低,普通CVD設備的沉積溫度大多在900℃左右,而在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應,可以使化學(xué)氣相沉積的溫度降到400℃左右,所以這個(gè)系統稱(chēng)為增強型化學(xué)氣相沉積系統。PECVD綜合了國內大多數廠(chǎng)家的PECVD系統的優(yōu)點(diǎn),觸摸屏集中一鍵控制,實(shí)驗證明此結構沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實(shí)驗電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統,...
管式電爐的爐管是其重要的關(guān)鍵的部件,也是生產(chǎn)試驗過(guò)程中的反應場(chǎng)所,工作區域。并且爐管與氣體,壓力及操作方法都有直接關(guān)系。因此管式電爐用過(guò)程中一定要注意石英管的使用和維護:1、石英管軟化的軟化點(diǎn),持續限值不宜使用過(guò)長(cháng)。2、石英管的耐溫度與其純度有關(guān)系,純度越高,耐溫就越高。3、保持爐管內清潔衛生,爐管內不能殘留與SiO2反應的物質(zhì),燒物料時(shí),為了使爐管的使用壽命更長(cháng),不要直接把物料放在爐管上,用舟型坩堝盛著(zhù)。4、加熱時(shí)爐管內請務(wù)必放陶瓷爐塞,否則爐管兩端溫度較高,法蘭里的O型圈...
氣氛管式爐是在某一既定溫度下,向滬內通入成分的人工制鋒氣氛,以達到某種熱處理的目的,如氣體滲碳,破氛共沙及光亮沖火,退火,E火等。為了控制中內的氣部,維持沖內的壓力,爐內工空間讎含要與外界空氣隔絕,盡量避免凋氣和吸入空氣,故要求爐完。硯體,爐門(mén)及所有外界連接零件﹔名種氣氛嚀的密封性受求高,裝,出料操作過(guò)程復雜,要求一臺爐子多用,大批量生產(chǎn)時(shí),多組或大型聯(lián)合較處理或者兩用以上的機組,因而要求有較高的機械化,自動(dòng)化程度。使用氣氛管式爐要注意以下內容:1、可控氣氛爐所使用的液化氣體...
旋轉管式爐采用先進(jìn)的復合爐襯結構,節電30%-40%適用于精密鑄造行業(yè)和模殼加熱,效率高,比燃油、燃煤成本大大降低。超節能結構,是國家標準節能型周期式作業(yè)爐。該管式爐熱工材料選用高品質(zhì)節能型輕質(zhì)泡沫磚和上等保溫制品砌筑而成。管式爐該爐溫度調節方便、安全,只要調節功能按鈕,即可實(shí)現溫度控制,免去了燃油爐調節油咀的麻煩。設備優(yōu)勢:1、具有控溫穩定、性能*、能耗較低、爐膛潔凈等優(yōu)點(diǎn),解決了您的環(huán)保壓力。2、管式爐性能*、能耗較低、爐膛潔凈等優(yōu)點(diǎn)。3、用上等耐火材料保溫性能良好;加熱...
管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn),主要應用于院校實(shí)驗室、工礦企業(yè)實(shí)驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。在使用過(guò)程中,因操作不當的因素,很容易導致設備出現真空度不高的情況,從而影響設備的使用效率,無(wú)法達到使用標準,對此,我們應該如何進(jìn)行抽真空操作,從而保證設備的使用。然而為了節約成本,我們根據抽真空的目的是排除氧氣,我們可以向管式爐內部充入氮氣、氬氣等惰性氣體,...
氣氛管式爐主要作用于物體的燒結,而在制品的燒結過(guò)程中可控氣氛爐能夠有效地提高制品的致密化程度從而獲得良好的性能制品。適用于電子陶瓷與高溫結構陶瓷的燒結、玻璃的退火與微晶化、晶體的退火、陶瓷釉料制備、粉末冶金、納米材料的燒結、金屬零件淬火及一切需快速升溫工藝要求的熱處理,是科研單位、高等院校、工礦企業(yè)理想的實(shí)驗和生產(chǎn)設備。氣氛管式爐的注意加熱材質(zhì):使用者要注意加熱制品的材質(zhì)構成,而含有銅、鋁、鋅等元素的材質(zhì)與設備加熱元件接觸會(huì )與產(chǎn)品發(fā)生反應。因此,無(wú)論制品是細粉、熔液或蒸汽等,...
真空管式氣氛爐如果長(cháng)時(shí)間不使用或者用的年數多了,難免會(huì )出現一些故障,下面簡(jiǎn)單介紹一下真空爐常見(jiàn)的故障,與對應的處理方法。一、電器故障(一)溫度異常,包括溫度過(guò)高報警、或顯示溫度達不到設定值。(1)溫度過(guò)高報警故障解除方法:1.首先檢查所在工作區溫控器參數是否正常,參考其他正常使用中的溫控器校對所有參數。2.根據電路圖檢查相應工作區的固態(tài)繼電器輸出端是否被擊穿,具本方法:停電后,用萬(wàn)用表電阻檔測量固態(tài)繼電器輸出端兩點(diǎn)之間的電阻,正常時(shí),電阻會(huì )有幾兆歐以上,如果被擊穿,則幾乎沒(méi)有...
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