管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn),主要應用于院校實(shí)驗室、工礦企業(yè)實(shí)驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
在使用過(guò)程中,因操作不當的因素,很容易導致設備出現真空度不高的情況,從而影響設備的使用效率,無(wú)法達到使用標準,對此,我們應該如何進(jìn)行抽真空操作,從而保證設備的使用。
然而為了節約成本,我們根據抽真空的目的是排除氧氣,我們可以向管式爐內部充入氮氣、氬氣等惰性氣體,降低氧氣濃度從而達到實(shí)驗材料不會(huì )出現氧化還原現象,操作步驟如下:
1、首先,我們將接上真空泵和氮氣瓶,然后將所有閥門(mén)關(guān)閉,打開(kāi)真空泵和真空閥門(mén),觀(guān)察壓力表等到真空泵真空度穩定后,關(guān)閉真空閥門(mén)和真空泵;
2、然后打開(kāi)氣瓶打開(kāi)進(jìn)氣閥門(mén),等到壓力表恢復常壓后,關(guān)閉進(jìn)氣閥門(mén);
3、此時(shí)爐內空氣濃度降低,但空氣仍有殘留,我們重復上述步驟,即可得到更高純度的氮氣從而排除空氣,如需更高純度的實(shí)驗可多次重復上述步驟。注意打開(kāi)和關(guān)閉泵閥氣瓶順序。
部分實(shí)驗室管式爐需要在真空內實(shí)驗,真空泵度很高,但是達不到實(shí)驗要求,可能是抽完真空后直接關(guān)閉真空泵沒(méi)有關(guān)閉真空閥門(mén),因為真空泵不工作狀態(tài)會(huì )回流空氣,從而導致空氣進(jìn)入爐管內,我們只需在抽完真空后先關(guān)閉真空閥門(mén)即可解決此類(lèi)問(wèn)題。