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PECVD系統的結構及工藝原理說(shuō)明

PECVD系統具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著(zhù)性以及臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在超大規模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應用。適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行Si02、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現TEOS源沉積，Sic膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合干有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。膜制備工藝在超大規模集成電路技術(shù)中有著(zhù)非常廣泛的應用，按照其成膜方法可分為兩大類(lèi)：物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)。等離子增強型...

真空熱壓爐在技術(shù)上有哪些特點(diǎn)？

真空熱壓爐是靶極材料、納米陶瓷材料、釹鐵硼材料等新型材料的理想設備，主要供大專(zhuān)院校、科研單位針對無(wú)機材料在真空（或保護氣氛）熱壓條件下進(jìn)行燒結處理，以便獲得高致密度的產(chǎn)品。爐體部分：爐體為立式爐殼其內層為不銹鋼制成的園筒外層為碳鋼。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走，使爐壁溫度不超過(guò)60℃，其上下法蘭焊接為一個(gè)整體。中間開(kāi)有紅外測溫孔（有保護氣氛通氣口），熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀(guān)察孔，鉑銠熱電偶有到溫自動(dòng)退出裝置，紅外測溫觀(guān)察孔有玻璃氣吹防霧裝置，操作人員使用...

多溫區管式爐具有穩定的溫度控制系統，可保證實(shí)驗數據的可靠

多溫區管式爐包括雙溫區、三溫區、五溫區，每個(gè)溫區可以單獨控溫，主要適用于真空或保護氣氛中，多種溫度段下材料的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解、低溫沉積工藝，碳納米管及碳納米線(xiàn)的制備等。主要針對實(shí)驗室在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩定的溫度控制系統，可保證實(shí)驗數據的可靠性。產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，選用質(zhì)優(yōu)的硅鉬棒發(fā)熱元件作為發(fā)熱體；爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口，可通入保護氣體，不銹鋼法蘭快開(kāi)設計，方便...

管式電爐的安裝與使用

管式電爐采用可靠的集成化電路，工作環(huán)境好，抗干擾，最高溫度時(shí)爐體外殼溫度≤50℃大大提高了工作環(huán)境。廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開(kāi)發(fā)、特種材料、建材等領(lǐng)域。工作原理：熱電偶將爐溫轉變成電壓信號后，加在微電腦溫度控制調節儀上。調節儀將此信號與程控設定相比較，輸出一個(gè)可調信號。再用可調信號控制觸發(fā)器，再有觸發(fā)器觸發(fā)調壓器，達到調節電爐電壓和電爐溫度的目的。安裝與使用：1、管式電爐不需特殊安裝，室內平整的地面或工作臺上均可安放。但配套的控制器應避免震...

真空熱壓爐是一種多功能真空設備

真空熱壓爐為周期作業(yè)式，可供硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進(jìn)行熱壓燒結處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結。它是在真空狀態(tài)下把工件加熱到要求的溫度后，上下壓頭移動(dòng)使工件壓縮變形，從而工件材料達到除雜凈化、高密度等的工藝要求。除在真空狀態(tài)下高溫加壓能夠制造多種復合材料，還可以進(jìn)行高溫燒結，是一種多功能真空設備。它有電阻加熱方式和電磁感應加熱方式兩種爐型。主要供大專(zhuān)院校、科研單位針對無(wú)機材料在真空（或保護氣氛）熱壓條件下進(jìn)行燒結處理，以便獲得高致密度的產(chǎn)品。...

熱壓爐的原理、應用及技術(shù)特性分析

一、引言熱壓爐是一種在特定溫度和壓力下，通過(guò)加熱和加壓的方式將材料進(jìn)行固結、成型或改性的設備。隨著(zhù)材料科學(xué)和制造業(yè)的快速發(fā)展，熱壓爐在多個(gè)領(lǐng)域中的應用越來(lái)越廣泛，如陶瓷、粉末冶金、復合材料、半導體材料等。本文將對熱壓爐的原理、應用、技術(shù)特性以及未來(lái)發(fā)展趨勢進(jìn)行詳細的探討。二、熱壓爐的原理熱壓爐的工作原理主要基于熱傳導和壓力作用。在熱壓過(guò)程中，爐體通過(guò)電加熱或其他加熱方式將熱量傳遞給工作區域，使材料達到所需的溫度。同時(shí)，通過(guò)液壓或氣壓系統對工作區域施加壓力，使材料在熱和壓力的共...

在使用滑軌式管式爐時(shí)，容易忽略的幾個(gè)問(wèn)題

滑軌式管式爐一體化結構設計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過(guò)移動(dòng)爐體實(shí)現快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預先設定溫度，然后移動(dòng)到樣品處，達到快速升溫的效果。主要用于石墨烯、鋰電正負較材料、晶體退火、LED發(fā)光材料等領(lǐng)域。爐膛可左右自由移動(dòng)，可隨時(shí)改變溫場(chǎng)位置，實(shí)現快速降溫等功能。為了更好地使用滑軌式管式爐，要注意使用規范，以下是根據相關(guān)工作人員的經(jīng)驗，總結了幾個(gè)使用時(shí)容易忽略的幾個(gè)問(wèn)題，下面一起看下：1、首先，當使用管式爐加熱工件時(shí)，不添加任何預燒板：2、所有...

氫氣爐的爐殼結構及密封說(shuō)明

氫氣爐是利用水的高溫裂解物理特性，當爐子的“蒸汽發(fā)生器”產(chǎn)生的水蒸汽通入一千度高溫的裂解器中與金屬催化劑發(fā)生反應時(shí)，能產(chǎn)生氫氧氣噴入爐膛參與燃料燃燒，也就是燃料隨機加氫的實(shí)施例。它的使用范圍非常廣泛，適用于工礦企業(yè)、科研單位、大專(zhuān)院校實(shí)驗室等。在各種氣氛下作化學(xué)分析、物理測定、已廣泛應用于粉末冶金、陶瓷金屬化、熒光粉、電池材料、電子陶瓷、化工原料等產(chǎn)品的研究及小批量生產(chǎn)。爐殼結構及密封：1、氫氣爐由爐殼、密封性爐膽（罐）、真空泵、氣氛回路、溫度控系統組成，加配專(zhuān)用型的氫氣點(diǎn)火...