1.工件在真空狀態(tài)下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

　　2.真空爐的保養應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時(shí)不用時(shí)吸氣，吸潮。

　　3.國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h

　　4.真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。

    5.處理鈦合金時(shí)，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。

　　6.冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。

　　7.升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時(shí)方可升溫加熱

　　8.真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。

　　9.升溫過(guò)程中，工件及爐內材料會(huì )放氣，使真空度下降。

　　10.真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時(shí)效的加熱溫度一般與常規處理時(shí)加熱溫度相同。