真空碳管爐真空系統采用油擴散泵、機械泵、機械泵上設有電磁閥，高、低真空閥為氣動(dòng)擋板閥，配合數顯復合真空計和PLC實(shí)現高、低真空自動(dòng)切換。電控系統主回路為低電壓大電流輸入，控制柜體西門(mén)子標準制作。進(jìn)口數顯程序控制儀完成升溫和降溫過(guò)程自動(dòng)控制，控制本面板上設有圖形模擬屏，人性化設計，操作直觀(guān)簡(jiǎn)單，控制回路具有斷水、超溫、過(guò)流等聲光報警和自動(dòng)保護功能。

　　真空碳管爐它是由油擴散泵、機械泵以及真空閥等組成，真空閥門(mén)為氣動(dòng)擋板閥及氣動(dòng)蝶閥，可通過(guò)PLC控制實(shí)現高、低真空自動(dòng)切換。真空測量粗真空由園形彈簧真空計測量，低真空由熱偶真空計，高真空由電離真空計測量。調壓控制柜上可控硅調壓裝置由旋動(dòng)手動(dòng)調節，也可自動(dòng)控制，380V兩相電源經(jīng)過(guò)降壓變壓器，電壓降到33V，然后經(jīng)過(guò)電纜再送到電極上。溫度控制由進(jìn)口程序控溫儀控制等。設備配有模擬屏，能顯示當前系統工作狀態(tài)。冷卻水由總管進(jìn)入，經(jīng)過(guò)各支管送到爐殼、爐蓋、爐底、電極、擴散泵和機械泵等需要冷卻的地方，然后匯總到水箱排出。每路冷卻水都有手動(dòng)閥門(mén)，可以按照需要調節流量大小。進(jìn)水管上設有電接點(diǎn)壓力表，當水壓低于0.1MPa時(shí)，可自動(dòng)切斷加熱器。